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RA产品在LED专用生产设备中的应用

客户简介:该客户主要从事 LED专用MOCVD 装备的研发、生产和销售以及LED外延片、芯片、器件及其应用产品的研发、生产和销售等。

 

技术挑战:因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质,并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上,通常要考虑系统密封性,流量、温度控制的精确性,组分变换的迅速性和系统的紧凑性等。不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的, 但一般由源供给系统、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统组成。
 

RA方案:工业以太网星形连接,ControlLogix L72本地和远程扩展机架,CompactLogix L35E本地双机架,双Devicenet网络,ULTRA3000伺服控制器,主要用于以上这些系统的自动控制系统。

 

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